常州純氬氣

時間：2025-03-20作者：常州泳鑫氣體有限公司瀏覽：13

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• 詞條

  詞條說明

• 高純氫在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用

  高純氫在半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵作用高純氫是半導(dǎo)體制造中的材料，主要用于清洗和還原工藝。在芯片生產(chǎn)過程中，高純氫能有效去除硅片表面的氧化物和其他雜質(zhì)，確保電路的和性。半導(dǎo)體制造對氣體純度要求高，高純氫的純度通常需達(dá)到99.9999%（6N）以上。任何微量雜質(zhì)都可能導(dǎo)致芯片能下降或失效。因此，高純氫的制備和供應(yīng)經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制。隨著5G、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體需求持續(xù)增長，高純氫的市場需求也

• 高純氫氣的儲存與運(yùn)輸

  高純氫氣的儲存與運(yùn)輸高壓氣瓶：將高純氫氣壓縮壓（如15-20 MPa）儲存于鋼瓶或復(fù)合材料氣瓶中。液態(tài)氫：將氫氣冷卻至-253℃以下，以液態(tài)形式儲存和運(yùn)輸，適用于大規(guī)模需求。金屬氫化物儲氫：利用金屬氫化物的吸附特性儲存氫氣，性較高。管道輸送：在工業(yè)集中區(qū)域，可通過管道直接輸送高純氫氣。

• 高純氫氣的應(yīng)用領(lǐng)域

  高純氫氣因其特的性能，在多個領(lǐng)域具有重要應(yīng)用：（1）半導(dǎo)體與電子工業(yè)晶圓制造：用于半導(dǎo)體晶圓制造中的外延生長、退火等工藝。清洗氣體：用于清洗半導(dǎo)體設(shè)備，去除表面雜質(zhì)。載氣：作為載氣用于氣相沉積（CVD）和刻蝕工藝。（2）光伏產(chǎn)業(yè)硅片生產(chǎn)：用于多晶硅和單晶硅的生產(chǎn)過程中，作為還原氣體。薄膜太陽能電池：用于制造薄膜太陽能電池的工藝氣體。（3）化工與石化加氫反應(yīng)：用于石油煉制、化工合成中的加氫反應(yīng)，如加

• 高純氫氣的特點

  高純氫氣是一種純度高的氫氣，通常指氫氣純度達(dá)到?99.999%（5N）或高。由于其高純度和特的物理化學(xué)性質(zhì)，高純氫氣在工業(yè)、科研、能源等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。高純氫氣的特點高純度：雜質(zhì)含量低，滿足應(yīng)用需求。無色無味：氫氣是一種無色、無味、的氣體。低密度：氫氣的密度低，是已知輕的氣體。高燃燒熱值：氫氣的燃燒熱值高，是一種的清潔能源。還原性強(qiáng)：氫氣具有較強(qiáng)的還原性，可用于還原反應(yīng)。