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詞條說明
高純氫氣因其特的性能,在多個領域具有重要應用:(1)半導體與電子工業晶圓制造:用于半導體晶圓制造中的外延生長、退火等工藝。清洗氣體:用于清洗半導體設備,去除表面雜質。載氣:作為載氣用于氣相沉積(CVD)和刻蝕工藝。(2)光伏產業硅片生產:用于多晶硅和單晶硅的生產過程中,作為還原氣體。薄膜太陽能電池:用于制造薄膜太陽能電池的工藝氣體。(3)化工與石化加氫反應:用于石油煉制、化工合成中的加氫反應,如加
高純氫氣的儲存與運輸高壓氣瓶:將高純氫氣壓縮壓(如15-20 MPa)儲存于鋼瓶或復合材料氣瓶中。液態氫:將氫氣冷卻至-253℃以下,以液態形式儲存和運輸,適用于大規模需求。金屬氫化物儲氫:利用金屬氫化物的吸附特性儲存氫氣,性較高。管道輸送:在工業集中區域,可通過管道直接輸送高純氫氣。
高純氦氣標準概述高純氦氣是一種無色、無味、無毒的惰性氣體,在常溫下,其化學性質較其穩定。在許多高科技領域,如電子、航天、醫療、材料科學等領域,高純氦氣都有著廣泛的應用。因此,對高純氦氣的質量標準進行嚴格控制,以確保其質量和性能符合相關規定和要求,就顯得尤為重要。高純氦氣標準主要包括以下幾個方面:1. 純度要求:高純氦氣的純度是衡量其質量的重要指標之一。根據不同的應用領域和用途,高純氦氣的純度要求也
高純氦氣的用途高純氦氣是一種無色、無味、無毒的惰性氣體,在空氣中含量僅為0.5%。由于其高純度特性,高純氦氣在許多領域具有廣泛的應用。以下是高純氦氣的幾個主要用途的簡要概述:1. 電子行業:高純氦氣在電子行業中主要用于電子元件制造中的氣體注入過程。通過將氦氣注入到半導體材料中,可以增強材料的導熱性和機械性能,提高電子元件的精度和性能。此外,高純氦氣還可用于真空腔室和電子設備中的抽真空過程,以保持設
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