什么是靶材？

時間：2022-01-20

作者：醴陵市利吉升新材料有限公司

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詞條
詞條說明
常見的金屬靶材有哪些？濺射靶材是否希缺資源？
我們都掌握靶材便是快速荷能顆粒負電子的總體目標原材料。磁控濺射靶材關鍵運用于電子器件及信息技術產業，如電子器件、信息內容儲存、液晶顯示器、激光器儲存器、電子器件操縱元器件等;也可以運用于玻璃鍍膜行業;還能夠運用于金屬復合材料、高溫耐腐蝕、高端裝飾用品等領域。靶材類型比較多,有金屬類、鋁合金類、金屬氧化物類這些,用的領域也各有不同,運用很普遍。那麼普遍的金屬靶材有什么?磁控濺射靶材是不是希缺資源?
貴金屬靶材是什么？有哪些？
貴金屬靶材是什么？有什么？選用精練、融化煅造、壓延加工或粉未冶金工業加工工藝生產的半導體元器件、紀錄新聞媒體顯示器件等的布線和塑料薄膜的貴金屬以及合金的濺射靶材。Au、Pt、Pd、Ag靶材用以電子器件和規模性電子器件，CoCrPt、CoPt和CoPd等合金靶材用以磁記錄。輕貴金屬銀、釕、銠、鈀的統稱。相對密度在10~12/cm中間。重貴金屬金、鋨、銥、鉑的統稱，相對密度在19~22g/cm3中間。
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靶材的制作方法、分類及應用
現階段靶材的制取關鍵有鑄造法和粉未冶金法。鑄造法：將一定成份配制的合金原材料熔煉，再將合金飽和溶液澆筑于模貝中，產生澆鑄，最終經機械加工制造做成靶材，鑄造法在真空泵中熔煉、鑄造。常見的熔煉方式有真空泵磁感應熔煉、真空泵電孤熔煉和真空電子負電子熔煉等，其特點是靶材殘渣含量（尤其是汽體殘渣含量）低，相對密度高，可進口替代；缺陷是對溶點和相對密度相距過大的二種或兩種以上金屬材料，一般熔煉法難以獲得成份