磁控濺射技術原理及應用簡介

時間：2023-10-07

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

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磁控濺射沉積系統設計
?針對光學和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設計了一種磁控濺射沉積系統,系統包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。主要結論有:(1)在磁控濺射靶裝置設計中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達10-6 Pa;采用旋轉磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時避免了靶裝置在預先清洗時的污染;設計了靶裝置的驅動端,完成了電機
高溫真空探針熱臺的使用場景
1000度高溫真空探針臺，主要應用于半導體、材料科學、納米技術、光電子、薄膜技術等領域，具有以下用途：1. 半導體器件測試與表征：用于不同溫度下的半導體料件、電子器件和光電子器件的性能測試和分析。2. 材料性能表征：研究和測試材料在不同溫度下的電學、磁學、光學等性能，以及材料的穩定性和可靠性。3. 納米結構與納米器件研究：在納米尺度上測量納米結構與納米器件的電學性能，及其在高溫真空環境中的穩定性和
小型濺射儀鍍膜后掃描電鏡紡織纖維中的應用
纖維（Fiber）是由連續或不連續的細絲組成的物質，可分為**纖維和化學纖維。這兩大類纖維被廣泛應用于紡織[1]、環保[3]、生物醫療[4]等多個領域。由于纖維材料的表面物理形態和化學結構是決定材料性能的主要因素，通常需要利用相關的顯微設備去觀察纖維表面的微觀形貌等信息，從而去判斷纖維材料的基本性能。掃描電子顯微鏡作為一種常規的微觀表征設備，其具有放大倍數大、分辨、景深大、圖像清晰、立體感強等優點
小型濺射儀問題解答
小型濺射儀儀問儀答近小伙伴對于濺射儀使用和技術參數問的問題比較多，今天總結一下濺射儀的一些常見的技術問題：1、膜厚檢測儀原理：膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，利用頻率測量技術加上的數學算法，進行膜厚的在線鍍膜速率和實時厚度計算。主要應用于MBE、OLED或金屬熱蒸發、磁控濺射設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。2、濺射儀是否可以鍍鎳：可以鍍鎳 ?但是鎳是導磁金屬