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長治沁源旋片真空泵-旋片真空泵保養(yǎng)廠家報價


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    Dry Pump(干式真空泵)的原理和優(yōu)點Dry Pump是較基本的真空pump,它是利用螺桿原理來工作的,它主要的特點是可以從大氣壓下直接開始抽氣,所以可以單獨使用。一般真空度要求不高(E-3torr以下),如CVD及furnace僅使用dry pump即可。氣體從中間進(jìn)入的優(yōu)點:1.縮短了氣體通過pump的路徑,減少了particle的沉積2.減少了進(jìn)口與出口壓差對軸的影響,減小徑向扭矩Dry

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