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上海生物制藥GMP潔凈車間微塵控制措施


    昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司專注于無塵室,潔凈室,無菌室等

  • 詞條

    詞條說明

  • 無塵室潔凈室潔凈廠房要求控制濕度

    潔凈室為什么要控制濕度,對濕度是潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體潔凈室中相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)189*1564*4129,例如光刻區(qū)──或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括: ● 細菌生長; ● 工作人員感到室溫舒適的范圍

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