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氦質譜檢漏儀 ASM 340D 高真空排氣臺密封性泄露檢測


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    氦質譜檢漏儀高真空排氣臺密封性泄露檢測上海伯東某客戶生產研發多工位高真空和高真空排氣臺, 實現多工位同時抽真空的效果, 真空度需要穩定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系統在內的多個組件, 均需要進行密封性泄露測試, 以保證高真空性能. 經過上海伯東推薦真空系統**組件分子泵選用德國 Pfeiffer HiPace 系列, 并使用無油干式氦質譜檢漏儀 ASM 340D?

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