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晶圓研磨機GDM300內置修邊系統可作為薄型晶圓加工 晶圓研磨機GDM300晶圓減薄特長: ·The process from back grinding to wafer mounting continuously by fully automatic system, Which enable to grind till 25um thickness. 采用全自動系統,從后磨到貼裝的連續過程,可
新型雙臂機械手臂_4軸圓柱坐標型 新型雙臂機械手臂_4軸圓柱坐標型特點: 適用于超級潔凈間要求的4軸晶圓搬運機械手臂 在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上,解決了步進電機常見的丟步問題, 適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區域真空吸附方式的新型雙臂機械手臂 采用了不會發生丟步現象的控制方式來控制步進電機 高強度手臂/手臂第3關節處可承受3kg力(包含腕部機構模塊,晶圓的質量) 適應設備需求可以選擇底座
7134_ADT切割機/Dicing(多角度) 7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時最高2.5KW。直流無刷電機,閉環速度控制。覆蓋最高 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。 系統配有閉環轉向臺,針對多角度切割進行優化,適用各種產品,例如: ·陶瓷基板 ·氧化鋁 ·混合物 ·厚膜設備等 ADT切割機/Dicin
晶圓背拋/晶圓拋光GNX200BP 晶圓背拋GNX200BP晶圓拋光Wafer Grinding概要: GNX200BP晶圓研磨機是一款全自動的連續向下進給研磨機。晶圓由機械手通過機器進行處理,并裝載/卸載臂。在最終研磨站之后,使用兩個不同的站進行晶片清潔。卡盤轉速,砂輪轉速和砂輪主軸下降速度可以用來控制砂輪的產量,表面光潔度和砂輪壽命。兩點制程量規測量系統控制磨削主軸1和2下的晶片厚度。三點磨削
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