俄羅斯美女教師購買我公司的雙溫區(qū)PECVD設(shè)備

時間：2019-08-26作者：南陽市鑫宇新材料科技有限公司瀏覽：132

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• 俄羅斯美女教師購買我公司的雙溫區(qū)PECVD設(shè)備

  四路質(zhì)子混氣管式PECVD 本爐子分為四大部分：開啟式管式爐，等離子射頻電源（50-500w），真空泵和閥門、質(zhì)子流量計。 該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開關(guān)，當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者。加熱和冷卻速率可達(dá)100℃/min。為**快速加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動爐子到樣品