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半導體腔體子系統工控機維修簡稱EMI)是破壞性電磁能從一個電子設備通過輻射或傳導傳到另一個電子設備的過程,一般來說,EMI特指射頻信(RF)。但電磁可以在所有的范圍內發生。電磁兼容性(ElectromagneticCompatibility,簡稱EMC)是指電氣和電子系統、設備和裝置在設定的電磁環境中,在規定的界限內以設計的等級或性能運行,而不會由于電磁引起損壞或不可接受到性能惡化的能力,這里所
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