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MKS射頻電源維修(8)漂移當指令值為零時,坐標軸仍移動,從而造成位置誤差。通過漂移補償和驅動單元上的零速調整來消除。(9)回參考點故障回參考點故障一般分為找不到參考點和找不準參考點兩類。**類故障一般是回參考點減速開關產生的信號或零位脈沖信號失效,可以通過檢查脈沖編碼器零標志位或光柵尺零標志位來確定是否有故障;后一類故障是參考點開關擋塊位置設置不當引起的,需要重新調整擋塊位置。.MKS射頻電源
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