詞條
詞條說(shuō)明
《新形勢(shì)下MEMS產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)和技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)》研討會(huì)在蘇州納米城圓滿(mǎn)落幕
2015年,在《地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》等地區(qū)政策的推動(dòng)下,千億級(jí)地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金撬動(dòng)作用逐漸顯現(xiàn),“中國(guó)制造2025”、“互聯(lián)網(wǎng)+”等地區(qū)戰(zhàn)略的陸續(xù)實(shí)施也將有力支撐國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展,在《中國(guó)制造2025》**領(lǐng)域技術(shù)圖,其中六大領(lǐng)域都明確了傳感器的重要意義和戰(zhàn)略地位,MEMS產(chǎn)業(yè)作為其中具有戰(zhàn)略地位的一環(huán),在產(chǎn)業(yè)中地位凸顯。展望未來(lái),微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡(luò)化傳感器將
影響氣體傳感器讀數(shù)的因素:氣體濃度、平衡氣(背景氣)、環(huán)境溫度、環(huán)境濕度和氣體壓強(qiáng),今天為大家介紹下一個(gè)因素——?dú)怏w流量,詳情如下: 氣體是流體,氣體之所以流動(dòng)是因?yàn)橛袎毫Σ睿瑝毫Σ钤酱螅魉倬驮酱蟆?duì)氣體傳感器來(lái)說(shuō),關(guān)心的并不是管路中總的流速,而只是關(guān)心在傳感器進(jìn)氣口附近的流速。傳感器進(jìn)氣口附近的空腔體積一般都不到10毫升,因此,我們通常建議的流速是以毫升/分鐘來(lái)度量。 提到流量,還需要解釋兩個(gè)
硅麥靈敏度是指硅麥在一定強(qiáng)度的聲音作用下輸出電信號(hào)的大小。靈敏度高,表示硅麥的聲一電轉(zhuǎn)換**,對(duì)微弱的聲音信號(hào)反應(yīng)靈敏。技術(shù)上常用在0.1pa[μBar(微巴)]聲壓作用下硅麥能輸出多高的電壓來(lái)表示靈敏度。如某硅麥的靈敏度為1mV/μBar,即表示該硅麥在1μBar聲壓作用下輸出的信號(hào)電壓為1mV。習(xí)慣上也常用DB來(lái)表示硅麥的靈敏度。一般靈敏度有-48dB~-66dB(國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn));**標(biāo)準(zhǔn)的-3
多數(shù)企業(yè)所開(kāi)發(fā)的MEMS微麥克風(fēng)主要分為兩種形態(tài):**種是利用**的MEMS代工廠(chǎng)制造出MEMS IC,再加上一個(gè)ASIC放大器,將MEMS IC及ASIC IC用SIP封裝方式封裝成MEMS麥克風(fēng)芯片。這一部分在IC封裝過(guò)程中**保護(hù)振膜不被破壞,其封裝成本相對(duì)較高;另一種是先利用CMOS晶圓廠(chǎng)制造出ASIC部分,再利用后工藝來(lái)形成MEMS的結(jié)構(gòu)部分。其MEMS工藝技術(shù)目前似乎還無(wú)法在標(biāo)準(zhǔn)的CM
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