**SMA電漿等離子清洗機技術在晶圓芯片封裝工藝中有哪些應用

時間：2019-01-01

作者：煙臺金鷹科技有限公司

13573547231

詞條
詞條說明
等離子清洗機，微組裝鍵合前處理
等離子清洗機用于金屬鍵合前處理，塑封前處理，底部填充前處理，光刻膠去除、基板表面活化，鍍膜、去除靜電及有機污染物，提高親水性。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子
等離子清洗機，光刻膠剝離
等離子清洗機用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩定的刻蝕速率。等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統的濕式化學方法，等離子體清洗機干式處理的可控性強，一致性好，并且對基體沒有損害。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner
等離子清洗機增強金屬材料的力學性能
低溫等離子體清洗設備廣泛用于改變金屬材料的表面力學性能,即材料的磨損、硬度、摩擦、疲勞、耐腐蝕等性能。1、等離子清洗機提高金屬表面的附著力?通過金屬低溫等離子表面處理機器處理后,其材料表面的形態得到了微觀改變,低溫等離子表面處理機器在處理金屬材料后,能使材料表面的附著力達到62達因以上,能滿足各種粘接、噴涂,印刷等工藝,同時達到了除靜電的作用。 2、等離子清洗機提高金屬表面抗腐蝕能力等離
等離子清洗機鍍膜工藝提升附著力
等離子清洗機表面鍍膜工藝提升產品表面附著力：等離子清洗機在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表