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詞條說(shuō)明
Brooks自動(dòng)化股份有限公司案例—— Brooks自動(dòng)化和Galil團(tuán)隊(duì)成功提高了晶圓產(chǎn)量
Brooks自動(dòng)化股份有限公司案例——Brooks自動(dòng)化和Galil團(tuán)隊(duì)成功提高了晶圓產(chǎn)量在競(jìng)爭(zhēng)激烈且要求嚴(yán)格的硅晶圓生產(chǎn)領(lǐng)域,產(chǎn)量、精度和可靠性至關(guān)重要。日益提高的性能規(guī)格、縮短上市時(shí)間和降低成本等相互沖突的要求在不斷擠壓半導(dǎo)體設(shè)備制造商的生存空間。因此,大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備制造商在設(shè)計(jì)他們的系統(tǒng)時(shí)都指定使用Brooks自動(dòng)化股份有限公司制造的機(jī)器人。反過(guò)來(lái)說(shuō),這也正是Brooks選擇了Galil運(yùn)
nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺(tái)。行程超過(guò)500mm,編碼器分辨率為0.1nm,定位精度為±2nm。10小時(shí)以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。
? ?Givi Misure成立于1979年,生產(chǎn)玻璃/鋼帶光柵尺,磁柵尺,以及旋轉(zhuǎn)編碼器。GIVI位于意大利工業(yè)重鎮(zhèn)米蘭,并于1993年獲得米蘭科技創(chuàng)新獎(jiǎng),于1997年獲得ISO9001認(rèn)證。??????GIVI傳感器已在可再生能源領(lǐng)域應(yīng)用多年。無(wú)論是光伏還是大型太陽(yáng)能熱電廠,GIVI傳感器都確保光伏板和聚光鏡在先進(jìn)
壓電陶瓷電機(jī)如何運(yùn)作壓電陶瓷中的壓電效應(yīng)將電場(chǎng)轉(zhuǎn)化為機(jī)械應(yīng)變。在特殊的電激勵(lì)驅(qū)動(dòng)和壓電陶瓷電機(jī)的陶瓷幾何結(jié)構(gòu)下,以較近的頻率接近激發(fā)縱向和橫向彎曲振蕩模式??v向延伸模式和橫向彎曲模式的同時(shí)激勵(lì)產(chǎn)生了陶瓷邊緣的小橢圓軌跡,從而實(shí)現(xiàn)了雙模駐波電機(jī)。通過(guò)將陶瓷邊緣耦合到精密工作臺(tái)上,將一個(gè)合力的驅(qū)動(dòng)力施加在工作臺(tái)上,導(dǎo)致工作臺(tái)移動(dòng)。在頻率遠(yuǎn)高于平臺(tái)的機(jī)械共振的頻率上,驅(qū)動(dòng)力的周期性特性允許在無(wú)限行程中連
公司名: 上海銳放自控技術(shù)有限公司
聯(lián)系人: 王經(jīng)理
電 話:
手 機(jī): 18561737921
微 信: 18561737921
地 址: 上海嘉定墨玉路185號(hào)1層J
郵 編:
網(wǎng) 址: shruifang.b2b168.com
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