詞條
詞條說明
真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到較佳配置,選擇真空系統時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
旋片式真空泵拆裝步驟:1、先把油放啦、松開進氣咀法蘭螺釘,拔出進氣咀,松開氣鎮法蘭螺釘,拔出氣鎮閥2、拆下油箱、拆除止回閥開口銷,拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機拆否視方便而定。4、松開泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉子及旋片。拆下低級轉子時,應先拆下開口銷。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯軸節、電機裝在支座上3、用紗
日常維護1、定期做保養時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進行清洗和疏通。2、當真空泵積碳嚴重時,必須進行大的維護保養工作,必要時需更換油路管。因為,當真空泵積碳后,不知道油管內壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達到較穩定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產品采用鋁質材
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
郵 編: