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真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到較佳配置,選擇真空系統時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
旋片式真空泵維修方法:1、在進行真空泵維修之前,準備好檢測手段。2、判斷故障,確診故障。判斷準,可省事。確診要驗證。3、排除故障,先簡后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。真空泵機組以減少由于缺少工具和操作不當引起新的損傷,減少變化和跑合運轉時間。一般的說,拼接式轉子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉子就報廢了。4、有毒有害、有腐蝕性的泵,應請用戶**清洗,并告知必要的防護措施,以**維修人員的健康。
XD旋片真空泵的安裝操作1、XD型旋片式真空泵的安裝XD型旋片式真空泵應水平安放。同于泵運轉時幾乎沒有振動一般可不固定。XD旋片式真空泵底部減振墊塊上有公制螺孔用以固定泵,不要在地面上推拉泵,以免損壞減振墊塊。為保證XD旋片式真空泵得到良好的冷卻,泵冷卻空氣進風口和出風口應距周圍物體30cm以上。為便于維修,建議在XD旋片式真空泵進氣口和排氣口前留0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤的底座。X
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