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羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
【上海單級旋片真空泵】單級真空泵和雙級真空泵有什么特點1、雙級真空泵特點:前級泵轉子上的葉片槽采用了斜葉片槽,相鄰兩片葉片(轉子和泵體)形成的大封閉工作空間增大,提高了抽真空速度。前真空泵后,后真空泵串聯。前真空泵內有害空間氣體被后真空泵*吸入,提高抽氣的真空度。2、單級真空泵特點:吸氣口安裝有金屬絲網的粗過濾器。它可以防止固體顆粒被吸入泵室。油分離器配有一個高效的油氣分離排氣轉換開關。當泵停止
【國產普旭真空泵】定期檢修維護須知國產普旭真空泵油隨著泵的運轉惡劣,因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況,并及時替換泵油。替換泵油的周期:每六個月換油清洗一次。泵油替換步驟如下:1、打開真空泵的吸氣管,5秒后使其開始運行。泵內剩下的泵油*被排除。2、先拆下排氣管,在打開放油閥,然后倒出泵油。3、關閉排油閥,把新的真空泵油從加油口注入。4、如果泵油的污染非常嚴重,必須添加些新泵油,通過幾分鐘
真空泵發生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復軸承位置。2、軸承磨損嚴重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產生漏油,如是磨損所致可換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴重失效,可換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時間沒有進行保養,可拆解開真空泵,清洗油箱、泵腔
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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