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詞條說明
【上海真空泵維修】真空系統(tǒng)中各個(gè)真空泵的功能
根據(jù)真空泵的性能.在各種應(yīng)用的真空系統(tǒng)中,各類泵可承扣如下一些工作:1)主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。2)粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力,達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。3)前級泵。用以使另一個(gè)泵的前級壓力維持在其高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。4)維持泵。在真空系統(tǒng)中,當(dāng)抽氣量很小時(shí),不能有效地利用主要前級泵。為此,在真空系統(tǒng)中配置一種容較小
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
真空系統(tǒng)是指由真空泵、真空計(jì)及各種零件通過管道以適當(dāng)?shù)姆绞铰?lián)接,組合成能達(dá)到一定真空度要求的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的真空和工作真空度。真空度是指器件在無漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體,這時(shí)的工作真空度將顯著地**真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生
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