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羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
維護與保養1、潤滑油的規范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產生的噪音。?2、日常保養每日或每次運轉
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風良好。環境溫度:5—30攝氏度。環境壓力:大氣壓。預留保養空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵空間距離應有1米以上,預留通道,以便維修保養。真空泵運作時,表面溫度可以達到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。2、配管、基礎主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進氣法蘭通徑,好選用
真空泵氣鎮閥的作用:是在排氣發生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當它**泵溫下的飽和蒸汽壓時,即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結在泵油中。另外,當密閉泵口運轉時,已混入油內的可凝性氣體的凝結物或氣相就會溶于油中的物質,又會在泵腔內從油中逸出,這時如果開氣鎮工作,也可抽除一定量的可凝性物質,從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結構上,氣鎮閥有一逆止閥,防止排氣時油
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機: 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮金廊公路41號10幢224室
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網 址: shm159861.b2b168.com
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