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探頭故障現象、原因及排除方法1、沉積期間厚度讀數大跳變a.?不良晶片產生???解決方案:換晶片b.?晶片接近其使用壽命??解決方案:換晶片c.?晶片支承座表面有雜物???解決方案:用酒精或細砂皮清洗支承座d.?來自濺射源的頻率干涉???解決方案:&n
1. 工作頻率:40KHz等離子清洗機的工作頻率為40千赫(40,000赫茲),而13.56MHz等離子清洗機的工作頻率為13.56兆赫(13,560,000赫茲)。工作頻率不同會導致設備清洗效果和適用范圍上的差異。2. 清洗效果:40KHz的低頻等離子清洗對于大多數材料都可以達到較好的清洗效果,但對于一些微米或亞微米級別的顆粒或污染物去除效果可能不佳。而13.56MHz高頻等離子清洗則在去除顆粒
直流負壓濺射和直流濺射??在直流濺射中,帶正電的離子被吸引到接地的、帶負電的濺射靶上,從靶材上濺射出原子,然后這些原子在樣品(也稱為襯底)上沉積形成薄膜。通常情況下,濺射靶被接到正,而樣品端(襯底)被接到負或接地。??? ?然而,有些情況下(如反濺射或偏壓濺射),樣品端會被接到正以吸引多余的離子,從而實現清潔襯底表面或形成離子轟擊確保薄膜
1、空氣的液化溫度取決于空氣的組成成分。一般來說,空氣主要由、氧氣和少量其他氣體組成。在標準大氣壓下(約為1個大氣壓,相當于101.325千帕),液態氮的沸點約為-196攝氏度(-321華氏度),液態氧的沸點約為-183攝氏度(-297華氏度)。因此,空氣的液化溫度應該在這兩個溫度之間。請注意,這些數值是在標準條件下給出的,實際情況可能會受到氣壓和空氣成分的變化而有所不同。2、當空氣的溫度降低到的
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