等離子清洗機在半導體領域的應用

時間：2022-04-06

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機，微組裝鍵合前處理
等離子清洗機用于金屬鍵合前處理，塑封前處理，底部填充前處理，光刻膠去除、基板表面活化，鍍膜、去除靜電及有機污染物，提高親水性。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子
等離子清洗機用于半導體晶圓清洗工藝
等離子清洗機在半導體晶圓清洗工藝中的應用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應系統中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發性氣體狀態物質被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產品的質量等優點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等等離子清洗
等離子清洗機增加材料的粘結性
等離子清洗機增加材料之間的粘結性許多聚合物薄膜和纖維等高分子材料由于具有較低的表面能，很難被溶劑潤濕，表現出較低的粘接性。而高分子材料經plasma等離子清洗機處理后，易在其表面引入級性基團或活性點，提高表面活性和表面能，使非級性表面轉變為級性表面，增強了粘結材料與粘結劑之間的范德華力作用，進而達到改善材料粘結性的目的。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等
等離子清洗機處理動力電池組
等離子處理機不僅可以開展表面清洗，關鍵的是可以提升表面活力，等離子與物件表面開展化學變化可以造成活力，運用范疇很廣，例如提升原材料表面粘合能力，提升電焊焊接能力，邦定性，吸水性這些許多層面。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等